Moleküler Işın Epitaksi (MBE) Özeti
Moleküler Işın Epitaksi (MBE) teknolojisi, 1950'lerde vakumlu buharlaştırma teknolojisini kullanarak yarı iletken ince film malzemeleri hazırlamak için geliştirildi.Ultra yüksek vakum teknolojisinin gelişmesiyle birlikte teknolojinin uygulaması yarı iletken bilimi alanına da yayıldı.
Yarı iletken malzeme araştırmalarının motivasyonu, sistemin performansını artırabilecek yeni cihazlara olan taleptir.Buna karşılık, yeni malzeme teknolojisi yeni ekipman ve yeni teknoloji üretebilir.Moleküler ışın epitaksisi (MBE), epitaksiyel katman (genellikle yarı iletken) büyümesi için yüksek vakum teknolojisidir.Tek kristal substratı etkileyen kaynak atomların veya moleküllerin ısı ışınını kullanır.Prosesin ultra yüksek vakum özellikleri, yeni geliştirilen yarı iletken yüzeylerde yerinde metalizasyona ve yalıtım malzemelerinin büyümesine olanak tanıyarak, kirlilik içermeyen arayüzler sağlar.
MBE Teknolojisi
Moleküler ışın epitaksisi yüksek vakumda veya ultra yüksek vakumda (1 x 106) gerçekleştirildi.-8Pa) ortamı.Moleküler ışın epitaksisinin en önemli özelliği, filmin genellikle saatte 3000 nm'den daha düşük bir oranda epitaksiyel büyümesine izin veren düşük birikme hızıdır.Bu kadar düşük bir biriktirme hızı, diğer biriktirme yöntemleriyle aynı seviyede temizlik elde etmek için yeterince yüksek bir vakum gerektirir.
Yukarıda açıklanan ultra yüksek vakumu karşılamak için MBE cihazı (Knudsen hücresi) bir soğutma katmanına sahiptir ve büyüme odasının ultra yüksek vakum ortamının bir sıvı nitrojen sirkülasyon sistemi kullanılarak muhafaza edilmesi gerekir.Sıvı nitrojen, cihazın iç sıcaklığını 77 Kelvin'e (-196 °C) kadar soğutur.Düşük sıcaklıktaki ortam, vakumdaki yabancı maddelerin içeriğini daha da azaltabilir ve ince filmlerin birikmesi için daha iyi koşullar sağlayabilir.Bu nedenle, MBE ekipmanının -196 °C'de sürekli ve sabit bir sıvı nitrojen beslemesi sağlaması için özel bir sıvı nitrojen soğutma sirkülasyon sistemi gereklidir.
Sıvı Azot Soğutma Sirkülasyon Sistemi
Vakumlu sıvı nitrojen soğutma sirkülasyon sistemi esas olarak şunları içerir:
● kriyojenik tank
● ana ve branşman vakum ceketli boru / vakum ceketli hortum
● MBE özel faz ayırıcı ve vakum ceketli egzoz borusu
● çeşitli vakum ceketli valfler
● gaz-sıvı bariyeri
● vakum ceketli filtre
● dinamik vakum pompası sistemi
● Ön soğutma ve temizlemeli yeniden ısıtma sistemi
HL Kriyojenik Ekipman Şirketi, MBE sıvı nitrojen soğutma sistemine olan talebi fark etmiş, MBE teknolojisi için özel bir MBE sıvı nitrojen soğutma sistemi ve eksiksiz bir vakum yalıtım sistemi setini başarılı bir şekilde geliştirmek için teknik omurgayı organize etmiştir.edBirçok işletmede, üniversitede ve araştırma enstitüsünde kullanılan borulama sistemi.
HL Kriyojenik Ekipman
1992 yılında kurulan HL Cryogenic Equipment, Çin'deki Chengdu Holy Cryogenic Equipment Company'ye bağlı bir markadır.HL Kriyojenik Ekipman, Yüksek Vakum Yalıtımlı Kriyojenik Boru Sistemi ve ilgili Destek Ekipmanlarının tasarımı ve üretimine kendini adamıştır.
Daha fazla bilgi için lütfen resmi web sitesini ziyaret edinwww.hlcryo.comveya adresine e-posta gönderininfo@cdholy.com.
Gönderim zamanı: Mayıs-06-2021