Sıvı nitrojen soğutma sistemleri, yarı iletken ve çip endüstrisinde aşağıdaki işlemler de dahil olmak üzere yaygın olarak kullanılmaktadır:
- Moleküler Işın Epitaksi (MBE) teknolojisi
- Çipin COB paketinden sonraki testi
ilgili ürünler
Vakum Yalıtımlı Boru Serisi
Vakum Yalıtımlı Esnek Hortum Serisi
Dinamik Vakum Pompası Sistemi
Vakum Yalıtımlı Faz Ayırıcı Serisi
Vakum Yalıtımlı Vana Serisi
Boru Sistemi Destek Ekipmanları
MOLEKÜLER KİRİŞ EPİTAKSİSİ
Moleküler Işın Epitaksi (MBE) teknolojisi, 1950'lerde vakumlu buharlaştırma teknolojisini kullanarak yarı iletken ince film malzemeleri hazırlamak için geliştirildi.Ultra yüksek vakum teknolojisinin gelişmesiyle birlikte teknolojinin uygulaması yarı iletken bilimi alanına da yayıldı.
HL, MBE sıvı nitrojen soğutma sistemine, MBE teknolojisi için özel bir MBE sıvı nitrojen soğutma sistemini başarıyla geliştirmek için organize edilmiş teknik omurgaya ve birçok işletmede, üniversitede ve araştırma enstitüsünde kullanılan eksiksiz bir vakum yalıtımlı boru sistemi setine olan talebi fark etti. .
Yarı iletken ve çip endüstrisinin ortak sorunları şunları içerir:
- Sıvı Azotun Terminal (MBE) Ekipmanına Basıncı.Terminal (MBE) Ekipmanına Zarar Veren Aşırı Basınç Yükünü Önleyin.
- Çoklu Kriyojenik Sıvı Giriş ve Çıkış Kontrolleri
- Sıvı Azotun Terminal Ekipmanına Giren Sıcaklığı
- Makul Miktarda Kriyojenik Gaz Emisyonları
- (Otomatik) Ana ve Branşman Hatlarının Anahtarlanması
- VIP'nin Basınç Ayarı (Düşürülmesi) ve Stabilite
- Tanktan Olası Kirlerin ve Buz Kalıntılarının Temizlenmesi
- Terminal Sıvı Ekipmanlarının Dolum Süresi
- Boru Hattı Ön Soğutma
- VIP Sistemde Sıvı Direnci
- Sistemin Kesintili Hizmeti Sırasında Sıvı Azot Kaybının Kontrolü
HL'nin Vakum Yalıtımlı Borusu (VIP), standart olarak ASME B31.3 Basınçlı Boru Koduna göre üretilmiştir.Müşterinin tesisinin verimliliğini ve maliyet etkinliğini sağlamak için mühendislik deneyimi ve kalite kontrol yeteneği.
ÇÖZÜMLER
HL Kriyojenik Ekipman, yarı iletken ve çip endüstrisinin gereksinimlerini ve koşullarını karşılamak için müşterilere Vakum Yalıtımlı Boru Sistemi sağlar:
1.Kalite Yönetim Sistemi: ASME B31.3 Basınçlı Boru Tesisatı Kodu.
2. Otomatik kontrol fonksiyonuna sahip Çoklu Kriyojenik Sıvı Giriş ve Çıkışına sahip Özel Faz Ayırıcı, gaz emisyonu, geri dönüştürülmüş sıvı nitrojen ve sıvı nitrojen sıcaklığı gereksinimlerini karşılar.
3.Yeterli ve zamanında egzoz tasarımı, terminal ekipmanının her zaman tasarlanan basınç değeri dahilinde çalışmasını sağlar.
4.Gaz-Sıvı Bariyeri VI boru hattının sonundaki dikey VI boruya yerleştirilir.Gaz-sıvı Bariyeri, VI boru hattının ucundan VI Borularına giden ısıyı engellemek ve sistemin kesintili ve aralıklı servisi sırasında sıvı nitrojen kaybını etkili bir şekilde azaltmak için gaz sızdırmazlık prensibini kullanır.
5.VI Vakum Yalıtımlı Valf (VIV) Serisi Tarafından Kontrol Edilen Borular: Vakum Yalıtımlı (Pnömatik) Kapatma Valfi, Vakum Yalıtımlı Çek Valf, Vakum Yalıtımlı Düzenleme Valfı vb. dahil. VIP'yi aşağıdaki gibi kontrol etmek için çeşitli VIV türleri modüler olarak birleştirilebilir. gerekli.VIV, yerinde Yalıtım işlemi olmaksızın üreticideki VIP prefabrikasyonuyla entegre edilmiştir.VIV'in conta ünitesi kolaylıkla değiştirilebilir.(HL, müşterilerin belirlediği kriyojenik valf markasını kabul eder ve daha sonra HL tarafından vakum yalıtımlı valfler yapar. Bazı marka ve model valflerin vakum yalıtımlı valf haline getirilmesi mümkün olmayabilir.)
6. Temizlik, eğer iç boru yüzeyinin temizliği için ek gereksinimler varsa.Paslanmaz çelik sızıntısını daha da azaltmak için müşterilerin VIP iç boru olarak BA veya EP paslanmaz çelik boruları seçmeleri önerilir.
7.Vakum Yalıtımlı Filtre: Tanktaki olası kirleri ve buz kalıntılarını temizleyin.
8. Birkaç gün veya daha uzun süreli kapatma veya bakımdan sonra, kriyojenik sıvının doğrudan VI Boru ve terminal ekipmanına girmesinden sonra buz cürufunun önlenmesi amacıyla, kriyojenik sıvı girilmeden önce VI Boru Tesisatının ve terminal ekipmanının önceden soğutulması çok gereklidir.Tasarımda ön soğutma fonksiyonu dikkate alınmalıdır.Terminal ekipmanı ve vanalar gibi VI Boru destek ekipmanları için daha iyi koruma sağlar.
9. Hem Dinamik hem de Statik Vakum Yalıtımlı (Esnek) Boru Sistemi için uygundur.
10.Dinamik Vakum Yalıtımlı (Esnek) Boru Sistemi: VI Esnek Hortumlar ve/veya VI Boru, Jumper Hortumlar, Vakum Yalıtımlı Vana Sistemi, Faz Ayırıcılar ve Dinamik Vakum Pompa Sisteminden (vakum pompaları, solenoid valfler ve vakum göstergeleri vb. dahil) oluşur. ).Tekli VI Esnek Hortumun uzunluğu kullanıcının gereksinimlerine göre özelleştirilebilir.
11.Çeşitli Bağlantı Tipleri: Vakum Bayonet Bağlantı (VBC) Tipi ve Kaynaklı Bağlantı seçilebilir.VBC tipinin yerinde yalıtımlı işleme ihtiyacı yoktur.