Moleküler ışın epitaksi (MBE)
Moleküler ışın epitaksi (MBE) teknolojisi, vakum buharlaşma teknolojisi kullanarak yarı iletken ince film malzemeleri hazırlamak için 1950'lerde geliştirilmiştir. Ultra yüksek vakum teknolojisinin geliştirilmesiyle, teknolojinin uygulanması yarı iletken bilimi alanına genişletilmiştir.
Yarı iletken malzeme araştırmalarının motivasyonu, sistemin performansını artırabilecek yeni cihazlara olan taleptir. Buna karşılık, yeni malzeme teknolojisi yeni ekipman ve yeni teknoloji üretebilir. Moleküler ışın epitaksi (MBE), epitaksiyal tabaka (genellikle yarı iletken) büyümesi için yüksek bir vakum teknolojisidir. Tek kristal substratı etkileyen kaynak atomlarının veya moleküllerin ısı demetini kullanır. Sürecin ultra yüksek vakum özellikleri, yerinde metalizasyona ve yeni yetiştirilen yarı iletken yüzeyler üzerinde yalıtım malzemelerinin büyümesine izin vererek kirliliksiz arayüzlere neden olur.
MBE teknolojisi
Moleküler ışın epitaksi yüksek vakum veya ultra yüksek vakumda gerçekleştirildi (1 x 10-8PA) Çevre. Moleküler ışın epitaksisinin en önemli yönü, genellikle filmin epitaksiyal büyümesini saatte 3000 nm'den az bir oranda büyümesine izin veren düşük biriktirme oranıdır. Böyle düşük bir biriktirme oranı, diğer biriktirme yöntemleriyle aynı seviyede temizlik elde etmek için yeterince yüksek bir vakum gerektirir.
Yukarıda açıklanan ultra yüksek vakumu karşılamak için, MBE cihazı （Knudsen hücresi） bir soğutma tabakasına sahiptir ve büyüme odasının ultra yüksek vakum ortamı bir sıvı azot dolaşım sistemi kullanılarak korunmalıdır. Sıvı azot, cihazın iç sıcaklığını 77 Kelvin'e (−196 ° C) soğutur. Düşük sıcaklık ortamı, vakumdaki safsızlıkların içeriğini daha da azaltabilir ve ince filmlerin birikmesi için daha iyi koşullar sağlayabilir. Bu nedenle, MBE ekipmanının -196 ° C sıvı azotu sürekli ve sabit bir tedarik sağlaması için özel bir sıvı azot soğutma sirkülasyon sistemi gereklidir.
Sıvı Azot Soğutma Sirkülasyon Sistemi
Vakum sıvı azot soğutma sirkülasyon sistemi esas olarak şunları içerir:
● Kriyojenik tank
● Ana ve dal vakum ceketli boru / vakum ceketli hortum
● MBE özel faz ayırıcı ve vakum ceketli egzoz borusu
● Çeşitli vakum ceketli vanalar
● Gaz-sıvı bariyeri
● Vakum ceketli filtre
● Dinamik vakum pompası sistemi
● Yeniden soğutma ve yeniden ısıtma sistemini temizle
HL Kriyojenik Ekipman Şirketi, MBE teknolojisi ve tam bir vakum insülat seti için özel bir MBE sıvı azot cooing sistemi başarılı bir şekilde geliştirmek için MBE sıvı azot soğutma sistemi talebini fark etti.edBirçok işletme, üniversite ve araştırma enstitüde kullanılan boru sistemi.
HL kriyojenik ekipman
1992 yılında kurulan HL kriyojenik ekipmanı, Çin'deki Chengdu Holy Cryojenic Equipment Company'ye bağlı bir markadır. HL kriyojenik ekipman, yüksek vakum yalıtımlı kriyojenik boru sisteminin ve ilgili destek ekipmanlarının tasarımı ve üretimine bağlıdır.
Daha fazla bilgi için lütfen resmi web sitesini ziyaret edinwww.hlcryo.comveya e -postainfo@cdholy.com.
Gönderme Zamanı: Mayıs-06-2021
