Sıvı nitrojen soğutma sistemleri, yarı iletken ve çip endüstrisinde yaygın olarak kullanılmaktadır ve aşağıdaki işlemleri içerir:
- Moleküler Işın Epitaksi (MBE) teknolojisi
- COB paketinden sonra çipin testi
İlgili Ürünler
Vakum Yalıtımlı Boru Serisi
Vakum Yalıtımlı Esnek Hortum Serisi
Dinamik Vakum Pompası Sistemi
Vakum Yalıtımlı Faz Ayırıcı Serisi
Vakum Yalıtımlı Vana Serisi
Borulama Sistemi Destek Ekipmanları
MOLEKÜLER IŞIN EPİTAKSİ
Moleküler Işın Epitaksisi (MBE) teknolojisi, vakum buharlaştırma teknolojisini kullanarak yarı iletken ince film malzemeleri hazırlamak için 1950'lerde geliştirildi. Ultra yüksek vakum teknolojisinin geliştirilmesiyle, teknolojinin uygulanması yarı iletken bilimi alanına genişletildi.
HL, MBE sıvı azot soğutma sistemine olan talebi fark etti, MBE teknolojisi için özel bir MBE sıvı azot soğutma sistemini ve birçok işletmede, üniversitede ve araştırma enstitüsünde kullanılan komple bir vakum yalıtımlı borulama sistemini başarıyla geliştirmek için teknik omurgayı organize etti.
Yarı iletken ve çip endüstrisinin ortak sorunları şunlardır:
- Sıvı Azot'un Terminal (MBE) Ekipmanına Basıncı. Basınç Aşırı Yüklenmesinin Terminal (MBE) Ekipmanına Zarar Vermesini Önleyin.
- Çoklu Kriyojenik Sıvı Giriş ve Çıkış Kontrolleri
- Sıvı Azot'un Terminal Ekipmanlarına Girmesinin Sıcaklığı
- Makul Miktarda Kriyojenik Gaz Emisyonu
- (Otomatik) Ana ve Şube Hatlarının Değiştirilmesi
- VIP Basınç Ayarı (Azaltma) ve Stabilitesi
- Tanktan Olası Kirliliklerin ve Buz Kalıntılarının Temizlenmesi
- Terminal Sıvı Ekipmanlarının Dolum Süresi
- Boru hattı ön soğutma
- VIP Sistemde Sıvı Direnci
- Sistemin Kesintili Hizmeti Sırasında Sıvı Azot Kaybını Kontrol Edin
HL'nin Vakum Yalıtımlı Borusu (VIP), standart olarak ASME B31.3 Basınçlı Boru koduna göre üretilmiştir. Müşterinin tesisinin verimliliğini ve maliyet etkinliğini sağlamak için mühendislik deneyimi ve kalite kontrol yeteneği.
ÇÖZÜMLER
HL Kriyojenik Ekipman, yarı iletken ve çip endüstrisinin gereksinimlerini ve koşullarını karşılamak için müşterilerine Vakum Yalıtımlı Boru Sistemi sağlar:
1.Kalite Yönetim Sistemi: ASME B31.3 Basınçlı Borulama Kodu.
2. Otomatik kontrol fonksiyonlu Çoklu Kriyojenik Sıvı Giriş ve Çıkışlı Özel Faz Ayırıcı, gaz emisyonu, geri dönüştürülmüş sıvı azot ve sıvı azot sıcaklığı ihtiyacını karşılar.
3.Uygun ve zamanında egzoz tasarımı, terminal ekipmanlarının her zaman tasarlanan basınç değeri içerisinde çalışmasını sağlar.
4.Gaz-sıvı Bariyeri, VI boru hattının sonundaki dikey VI borusuna yerleştirilir. Gaz-sıvı Bariyeri, VI boru hattının ucundan VI Borusuna ısıyı engellemek için gaz contası prensibini kullanır ve sistemin kesikli ve aralıklı servisi sırasında sıvı nitrojen kaybını etkili bir şekilde azaltır.
5.VI Vakum Yalıtımlı Vana (VIV) Serisi Tarafından Kontrol Edilen Borulama: Vakum Yalıtımlı (Pnömatik) Kapatma Vanası, Vakum Yalıtımlı Kontrol Vanası, Vakum Yalıtımlı Düzenleme Vanası vb. Dahil. Çeşitli VIV tipleri, VIP'yi gerektiği gibi kontrol etmek için modüler olarak birleştirilebilir. VIV, yerinde Yalıtım işlemi olmaksızın üreticide VIP ön üretimiyle entegre edilmiştir. VIV'in conta ünitesi kolayca değiştirilebilir. (HL, müşteriler tarafından belirlenen kriyojenik vana markasını kabul eder ve ardından HL tarafından vakum yalıtımlı vanalar üretir. Bazı vana markaları ve modelleri vakum yalıtımlı vanalara dönüştürülemeyebilir.)
6.Temizlik, iç lastik yüzey temizliği için ek gereklilikler varsa. Müşterilerin, paslanmaz çelik dökülmesini daha da azaltmak için VIP iç boruları olarak BA veya EP paslanmaz çelik boruları seçmeleri önerilir.
7.Vakum Yalıtımlı Filtre: Tankta oluşabilecek kirleri ve buz kalıntılarını temizleyin.
8.Birkaç gün veya daha uzun süreli kapatma veya bakım sonrasında, kriyojenik sıvı doğrudan VI Borulama ve terminal ekipmanına girdiğinde buz cürufu oluşmasını önlemek için kriyojenik sıvı girmeden önce VI Borulama ve terminal ekipmanının önceden soğutulması çok gereklidir. Ön soğutma işlevi tasarımda dikkate alınmalıdır. Terminal ekipmanı ve vanalar gibi VI Borulama destek ekipmanı için daha iyi koruma sağlar.
9.Hem Dinamik hem de Statik Vakum Yalıtımlı (Esnek) Boru Sistemlerine Uygundur.
10.Dinamik Vakum Yalıtımlı (Esnek) Boru Sistemi: VI Esnek Hortumlar ve/veya VI Boru, Bağlantı Hortumları, Vakum Yalıtımlı Vana Sistemi, Faz Ayırıcılar ve Dinamik Vakum Pompası Sisteminden (vakum pompaları, solenoid vanalar ve vakum göstergeleri vb. dahil) oluşur. Tek bir VI Esnek Hortumun uzunluğu kullanıcının gereksinimlerine göre özelleştirilebilir.
11. Çeşitli Bağlantı Tipleri: Vakumlu Bayonet Bağlantı (VBC) Tipi ve Kaynaklı Bağlantı seçilebilir. VBC tipi, yerinde izolasyon işlemine ihtiyaç duymaz.
