Sıvı azot soğutma sistemleri, yarı iletken ve çip endüstrisinde, aşağıdakiler de dahil olmak üzere birçok süreçte yaygın olarak kullanılmaktadır:
- Moleküler Işın Epitaksi (MBE) teknolojisi
- Çipin COB paketlemesinden sonraki testi
İlgili Ürünler
Vakum Yalıtımlı Boru Serisi
Vakum Yalıtımlı Esnek Hortum Serisi
Dinamik Vakum Pompası Sistemi
Vakum Yalıtımlı Faz Ayırıcı Serisi
Vakum Yalıtımlı Vana Serisi
Borulama Sistemi Destek Ekipmanları
MOLEKÜLER IŞIN EPİTAKSİ
Moleküler Işın Epitaksisi (MBE) teknolojisi, 1950'lerde vakum buharlaştırma teknolojisi kullanılarak yarı iletken ince film malzemeleri hazırlamak amacıyla geliştirilmiştir. Ultra yüksek vakum teknolojisinin gelişmesiyle birlikte, bu teknolojinin uygulaması yarı iletken bilimi alanına da yayılmıştır.
HL, MBE sıvı azot soğutma sistemine olan talebi fark ederek, MBE teknolojisi için özel bir MBE sıvı azot soğutma sistemi ve komple vakum yalıtımlı boru sistemi geliştirmek üzere teknik altyapısını başarıyla oluşturmuştur ve bu sistem birçok işletme, üniversite ve araştırma enstitüsünde kullanılmaktadır.
Yarı iletken ve çip endüstrisinin yaygın sorunları şunlardır:
- Terminal (MBE) ekipmanına verilen sıvı nitrojen basıncı. Basınç aşırı yüklenmesinin terminal (MBE) ekipmanına zarar vermesini önleyin.
- Çoklu Kriyojenik Sıvı Giriş ve Çıkış Kontrolleri
- Terminal ekipmanına verilen sıvı nitrojenin sıcaklığı
- Makul Miktarda Kriyojenik Gaz Emisyonu
- (Otomatik) Ana ve Yan Hatların Değiştirilmesi
- VIP Basınç Ayarlaması (Azaltma) ve Stabilitesi
- Tanktaki olası kirliliklerin ve buz kalıntılarının temizlenmesi
- Terminal Sıvı Ekipmanlarının Dolum Süresi
- Boru Hattı Ön Soğutması
- VIP Sisteminde Sıvı Direnci
- Sistemin Kesintili Çalışması Sırasında Sıvı Azot Kaybının Kontrolü
HL'nin Vakum Yalıtımlı Borusu (VIP), standart olarak ASME B31.3 Basınçlı Borulama koduna göre üretilmiştir. Mühendislik deneyimi ve kalite kontrol yeteneği, müşterinin tesisinin verimliliğini ve maliyet etkinliğini garanti eder.
ÇÖZÜMLER
HL Cryogenic Equipment, müşterilerine yarı iletken ve çip endüstrisinin gereksinimlerini ve koşullarını karşılamak üzere Vakum Yalıtımlı Borulama Sistemi sunmaktadır:
1. Kalite Yönetim Sistemi: ASME B31.3 Basınçlı Boru Tesisatı Kodu.
2.A Otomatik kontrol fonksiyonlu, çoklu kriyojenik sıvı giriş ve çıkışına sahip özel faz ayırıcı, gaz emisyonu, geri dönüştürülen sıvı azot ve sıvı azot sıcaklığı gereksinimlerini karşılar.
3. Yeterli ve zamanında egzoz tasarımı, terminal ekipmanının her zaman tasarlanan basınç değeri içinde çalışmasını sağlar.
4. Gaz-sıvı bariyeri, dikey VI boru hattının ucundaki dikey VI borusuna yerleştirilir. Gaz-sıvı bariyeri, gaz sızdırmazlık prensibini kullanarak VI boru hattının ucundan VI boru hattına ısı girişini engeller ve sistemin kesintili ve aralıklı çalışması sırasında sıvı azot kaybını etkili bir şekilde azaltır.
5. VI Vakum Yalıtımlı Vana (VIV) Serisi ile Kontrol Edilen Borulama: Vakum Yalıtımlı (Pnömatik) Kapatma Vanası, Vakum Yalıtımlı Çek Valf, Vakum Yalıtımlı Regülatör Vana vb. içerir. Çeşitli VIV tipleri, gerektiği gibi VIP'yi kontrol etmek için modüler olarak birleştirilebilir. VIV, yerinde yalıtım işlemi gerektirmeden, üretici tarafından VIP ön imalatı ile entegre edilir. VIV'nin sızdırmazlık ünitesi kolayca değiştirilebilir. (HL, müşteriler tarafından belirlenen kriyojenik vana markasını kabul eder ve ardından HL tarafından vakum yalıtımlı vanalar üretir. Bazı marka ve modellerdeki vanalar vakum yalıtımlı vanaya dönüştürülemeyebilir.)
6. Temizlik: İç boru yüzeyinin temizliği için ek gereksinimler varsa, paslanmaz çelik dökülmesini daha da azaltmak için müşterilerin VIP iç boru olarak BA veya EP paslanmaz çelik boruları seçmeleri önerilir.
7. Vakumlu Yalıtımlı Filtre: Tanktaki olası kirlilikleri ve buz kalıntılarını temizler.
8. Birkaç gün veya daha uzun süreli kapatma veya bakım sonrasında, kriyojenik sıvının doğrudan VI boru hattına ve terminal ekipmanına girmesinden sonra buz cürufunun oluşmasını önlemek için, VI boru hattının ve terminal ekipmanının önceden soğutulması çok gereklidir. Tasarımda ön soğutma fonksiyonu dikkate alınmalıdır. Bu, terminal ekipmanı ve vanalar gibi VI boru hattı destek ekipmanları için daha iyi koruma sağlar.
9. Hem dinamik hem de statik vakum yalıtımlı (esnek) boru sistemleri için uygundur.
10. Dinamik Vakum Yalıtımlı (Esnek) Borulama Sistemi: VI Esnek Hortumlar ve/veya VI Boru, Bağlantı Hortumları, Vakum Yalıtımlı Vana Sistemi, Faz Ayırıcılar ve Dinamik Vakum Pompa Sistemi (vakum pompaları, solenoid vanalar ve vakum göstergeleri vb. dahil) içerir. Tek bir VI Esnek Hortumun uzunluğu, kullanıcının gereksinimlerine göre özelleştirilebilir.
11. Çeşitli Bağlantı Tipleri: Vakumlu Bayonet Bağlantı (VBC) Tipi ve Kaynaklı Bağlantı seçilebilir. VBC tipi için yerinde yalıtım işlemine gerek yoktur.
