Sıvı nitrojen soğutma sistemleri, yarı iletken ve çip endüstrisinde yaygın olarak kullanılmaktadır ve bu sistemler şunları içerir:
- Moleküler Işın Epitaksi (MBE) teknolojisi
- COB paketinden sonra çipin testi
İlgili Ürünler
Vakum Yalıtımlı Boru Serisi
Vakum Yalıtımlı Esnek Hortum Serisi
Dinamik Vakum Pompası Sistemi
Vakum Yalıtımlı Faz Ayırıcı Serisi
Vakum Yalıtımlı Vana Serisi
Boru Sistemi Destek Ekipmanları
MOLEKÜLER IŞIN EPİTAKSİ
Moleküler Işın Epitaksi (MBE) teknolojisi, 1950'lerde vakum buharlaştırma teknolojisi kullanılarak yarı iletken ince film malzemeleri hazırlamak için geliştirilmiştir. Ultra yüksek vakum teknolojisinin gelişmesiyle birlikte, bu teknolojinin uygulama alanı yarı iletken bilimi alanına da yayılmıştır.
HL, MBE sıvı azot soğutma sistemine olan talebi fark etmiş, MBE teknolojisi için özel bir MBE sıvı azot soğutma sistemini ve birçok işletmede, üniversitede ve araştırma enstitüsünde kullanılan komple bir vakum yalıtımlı borulama sistemini başarıyla geliştirmek için teknik omurgayı organize etmiştir.
Yarı iletken ve çip endüstrisinin ortak sorunları şunlardır:
- Sıvı Azotun Terminal (MBE) Ekipmanına Basıncı. Basınç Aşırı Yükünün Terminal (MBE) Ekipmanına Zarar Vermesini Önleyin.
- Çoklu Kriyojenik Sıvı Giriş ve Çıkış Kontrolleri
- Sıvı Azotun Terminal Ekipmanlarına Girme Sıcaklığı
- Makul Miktarda Kriyojenik Gaz Emisyonu
- Ana ve Şube Hatlarının (Otomatik) Değiştirilmesi
- VIP Basınç Ayarı (Azaltılması) ve Stabilitesi
- Tanktaki Olası Kirliliklerin ve Buz Kalıntılarının Temizlenmesi
- Terminal Sıvı Ekipmanlarının Dolum Süresi
- Boru Hattı Ön Soğutma
- VIP Sisteminde Sıvı Direnci
- Sistemin Kesintili Hizmeti Sırasında Sıvı Azot Kaybını Kontrol Edin
HL'nin Vakum Yalıtımlı Boruları (VIP), standart olarak ASME B31.3 Basınçlı Borulama standardına göre üretilmektedir. Müşterinin tesisinin verimliliğini ve maliyet etkinliğini sağlamak için mühendislik deneyimi ve kalite kontrol yeteneği.
ÇÖZÜMLER
HL Kriyojenik Ekipman, müşterilerine yarı iletken ve çip endüstrisinin gereksinimlerini ve koşullarını karşılamak üzere Vakum Yalıtımlı Boru Sistemi sağlar:
1.Kalite Yönetim Sistemi: ASME B31.3 Basınçlı Borulama Kodu.
2. Çoklu Kriyojenik Sıvı Giriş ve Çıkışlı Otomatik Kontrol Fonksiyonlu Özel Faz Ayırıcı, gaz emisyonu, geri dönüştürülmüş sıvı azot ve sıvı azot sıcaklığı ihtiyacını karşılar.
3.Yeterli ve zamanında egzoz tasarımı, terminal ekipmanlarının her zaman tasarlanan basınç değeri içinde çalışmasını sağlar.
4.Gaz-sıvı bariyeri, VI boru hattının sonundaki dikey VI borusuna yerleştirilir. Gaz-sıvı bariyeri, VI boru hattının ucundan VI borularına ısı geçişini engellemek ve sistemin kesintili ve aralıklı çalışması sırasında sıvı nitrojen kaybını etkili bir şekilde azaltmak için gaz contası prensibini kullanır.
5. VI Vakum Yalıtımlı Vana (VIV) Serisi ile Kontrol Edilen Borular: Vakum Yalıtımlı (Pnömatik) Kapatma Vanası, Vakum Yalıtımlı Çek Valf, Vakum Yalıtımlı Regülatör Vanası vb. dahil. Çeşitli VIV tipleri, VIP'yi gerektiği gibi kontrol etmek için modüler olarak birleştirilebilir. VIV, yerinde yalıtım işlemi gerektirmeden üretici tarafından VIP ön üretimiyle entegre edilmiştir. VIV'in sızdırmazlık ünitesi kolayca değiştirilebilir. (HL, müşteriler tarafından belirlenen kriyojenik vana markasını kabul eder ve ardından HL tarafından vakum yalıtımlı vanalar üretir. Bazı vana marka ve modelleri vakum yalıtımlı vanalara dönüştürülemeyebilir.)
6. Temizlik: İç boru yüzey temizliği için ek gereklilikler varsa. Müşterilerin, paslanmaz çelik sızıntısını daha da azaltmak için VIP iç boru olarak BA veya EP paslanmaz çelik boruları seçmeleri önerilir.
7.Vakumlu Yalıtımlı Filtre: Tanktaki olası kirleri ve buz kalıntılarını temizleyin.
8. Birkaç gün veya daha uzun süreli bir kapatma veya bakım sonrasında, kriyojenik sıvı doğrudan VI Boru ve terminal ekipmanına girdiğinde buz cürufu oluşmasını önlemek için, kriyojenik sıvı girmeden önce VI Boru ve terminal ekipmanının ön soğutulması son derece önemlidir. Ön soğutma işlevi tasarımda dikkate alınmalıdır. Bu, terminal ekipmanı ve vanalar gibi VI Boru destek ekipmanı için daha iyi koruma sağlar.
9.Hem Dinamik hem de Statik Vakum Yalıtımlı (Esnek) Boru Sistemlerine Uygundur.
10.Dinamik Vakum Yalıtımlı (Esnek) Boru Sistemi: VI Esnek Hortumlar ve/veya VI Boru, Bağlantı Hortumları, Vakum Yalıtımlı Vana Sistemi, Faz Ayırıcılar ve Dinamik Vakum Pompası Sisteminden (vakum pompaları, solenoid valfler ve vakum göstergeleri vb. dahil) oluşur. Tek bir VI Esnek Hortumun uzunluğu, kullanıcının ihtiyaçlarına göre özelleştirilebilir.
11. Çeşitli Bağlantı Tipleri: Vakumlu Süngü Bağlantı (VBC) Tipi ve Kaynaklı Bağlantı seçilebilir. VBC tipi, yerinde yalıtım işlemi gerektirmez.
