Sıvı azot soğutma sistemleri, yarı iletken ve yonga endüstrisinde yaygın olarak kullanılmaktadır.
- Moleküler Beam Epitaksi Teknolojisi (MBE)
- Cob paketi sonrası çipin testi
İlgili Ürünler
Vakum Yalıtımlı Boru Serisi
Vakum Yalıtımlı Esnek Hortum Serisi
Dinamik vakum pompası sistemi
Vakum Yalıtımlı Faz Ayırıcı Serisi
Vakum Yalıtımlı Valf Serisi
Boru sistemi destek ekipmanı
Moleküler ışın epitaksi
Moleküler ışın epitaksi (MBE) teknolojisi, vakum buharlaşma teknolojisi kullanarak yarı iletken ince film malzemeleri hazırlamak için 1950'lerde geliştirilmiştir. Ultra yüksek vakum teknolojisinin geliştirilmesiyle, teknolojinin uygulanması yarı iletken bilimi alanına genişletilmiştir.
HL, MBE teknolojisi için özel bir MBE sıvı azot cooing sistemi ve birçok işletmede, üniversitede ve araştırma enstitülerinde kullanılan tam bir vakum yalıtımlı boru sistemi seti geliştirmek için MBE sıvı azot soğutma sisteminin talebini fark etti. .
Yarıiletken ve yonga endüstrisinin ortak sorunları şunları içerir:
- Sıvı azotun terminal (MBE) ekipmanına basıncı. Terminal (MBE) ekipmanından basınç aşırı yüklenmesini önleyin.
- Çoklu kriyojenik sıvı giriş ve çıkış kontrolleri
- Sıvı azotun terminal ekipmanına sıcaklığı
- Makul miktarda kriyojenik gaz emisyonu
- (Otomatik) ana ve dal hatlarının anahtarlanması
- VIP'nin basınç ayarı (azaltma) ve stabilitesi
- Tanktan olası safsızlıkları ve buz kalıntılarını temizlemek
- Terminal sıvı ekipmanının doldurma süresi
- Boru hattı ön soğutma
- VIP sisteminde sıvı direnci
- Sistemin süreksiz hizmeti sırasında sıvı azotun kontrol kaybı
HL'nin vakum yalıtımlı borusu (VIP), standart olarak ASME B31.3 Basınç boru kodu olarak üretilmiştir. Müşteri tesisinin verimliliğini ve maliyet etkinliğini sağlamak için mühendislik deneyimi ve kalite kontrol yeteneği.
Çözümler
HL Kriyojenik Ekipman, Müşterilere Yarı İletken ve Chip endüstrisinin gereksinimlerini ve koşullarını karşılamak için vakumlu yalıtılmış boru sistemi sağlar:
1.Kalite Yönetim Sistemi: ASME B31.3 Basınç boru kodu.
2. Çoklu kriyojenik sıvı girişi ve otomatik kontrol fonksiyonlu çıkışlı özel faz ayırıcı, gaz emisyonu, geri dönüştürülmüş sıvı azot ve sıvı azot sıcaklığı gereksinimini karşılar.
3. Uyar ve zamanında egzoz tasarımı, terminal ekipmanının her zaman tasarlanan basınç değeri içinde çalışmasını sağlar.
4. Gaz-sıvı bariyeri, VI boru hattının sonundaki dikey VI borusuna yerleştirilir. Gaz-sıvı bariyeri, VI boru hattının sonundaki ısıyı VI borularına engellemek ve sistemin süreksiz ve aralıklı hizmeti sırasında sıvı azot kaybını etkili bir şekilde azaltmak için gaz contası prensibini kullanır.
5.VI Boru Vakum Yalıtımlı Valf (VIV) Serisi tarafından kontrol edilen VI Borulama Serisi: Vakum Yalıtımlı (Pnömatik) Kapatma Vanası, vakum yalıtımlı kontrol valfı, vakum yalıtımlı düzenleme valfi vb. gerekli. VIV, yerinde yalıtımlı tedavi olmadan üreticide VIP prefabrikasyonu ile entegre edilmiştir. VIV'in mühür ünitesi kolayca değiştirilebilir. (HL, müşteriler tarafından belirlenen kriyojenik valf markasını kabul eder ve daha sonra HL tarafından vakum yalıtımlı vanalar yapar. Bazı markalar ve valf modelleri vakum yalıtılmış vanalar halinde yapılamayabilir.)
6. İç boru yüzey temizliği için ek gereksinimler varsa, temizlik. Müşterilerin paslanmaz çelik dökülmesini daha da azaltmak için VIP iç borular olarak BA veya EP paslanmaz çelik boruları seçmeleri önerilmektedir.
7. Yalıtımlı Filtre: Getişten olası safsızlıkları ve buz kalıntılarını temizleyin.
8. Birkaç gün veya daha uzun bir kapanma veya bakımdan sonra, kriyojenik sıvı doğrudan VI boru ve terminal ekipmanına girdikten sonra buz cürufundan kaçınmak için kriyojenik sıvı girilmeden önce VI boru ve terminal ekipmanının ön soğutulması çok gereklidir. Tasarımda ön soğutma işlevi dikkate alınmalıdır. Terminal ekipmanı ve vanalar gibi VI boru destek ekipmanı için daha iyi koruma sağlar.
9. Hem dinamik hem de statik vakum yalıtılmış (esnek) boru sistemi için dava.
10.ynamik vakum yalıtımlı (esnek) boru sistemi: VI esnek hortumlar ve/veya VI borusu, jumper hortumları, vakum yalıtımlı valf sistemi, faz ayırıcılar ve dinamik vakum pompa sistemi (vakum pompaları, solenoid valfler ve vakum göstergeleri vb. ). Tek VI esnek hortumun uzunluğu, kullanıcının gereksinimlerine göre özelleştirilebilir.
11. BARIÇ BAĞLANTI Türleri: Vakum süngü bağlantısı (VBC) Türü ve kaynaklı bağlantı seçilebilir. VBC tipinin yerinde yalıtımlı tedaviye ihtiyaç duyulmaz.
