Teknoloji
Moleküler ışın epitaksisi veya MBE, kristal alt tabakalar üzerinde yüksek kaliteli ince kristal filmler yetiştirmek için yeni bir tekniktir. Ultra yüksek vakum koşullarında, gerekli tüm bileşenlerle donatılmış bir ısıtma fırını kullanılarak buhar üretilir ve kolimatör ışın atomik veya moleküler ışın, oluşturulan deliklerden geçirilerek uygun sıcaklıktaki tek kristal alt tabakaya doğrudan enjekte edilir. Aynı zamanda moleküler ışının alt tabaka üzerinde taranması kontrol edilerek, kristaldeki moleküllerin veya atomların hizalanmış katmanlar halinde alt tabaka üzerinde ince bir film "büyümesi" sağlanabilir.
MBE ekipmanının normal çalışması için, yüksek saflıkta, düşük basınçlı ve ultra temiz sıvı azotun, ekipmanın soğutma haznesine sürekli ve istikrarlı bir şekilde taşınması gerekmektedir. Genel olarak, sıvı azot sağlayan bir tankın çıkış basıncı 0,3 MPa ile 0,8 MPa arasındadır. -196℃'deki sıvı azot, boru hattı taşımacılığı sırasında kolayca azot gazına dönüşür. Yaklaşık 1:700 gaz-sıvı oranına sahip sıvı azot boru hattında gaz haline geldiğinde, büyük miktarda sıvı azot akış alanını işgal eder ve sıvı azot boru hattının sonunda normal akışı azaltır. Ayrıca, sıvı azot depolama tankında temizlenmemiş kalıntılar bulunması muhtemeldir. Sıvı azot boru hattında nemli havanın varlığı da buz cürufunun oluşmasına yol açacaktır. Bu safsızlıklar ekipmana boşaltılırsa, ekipmana öngörülemeyen hasarlar verebilir.
Bu nedenle, dış mekandaki depolama tankındaki sıvı azot, yüksek verimlilik, istikrar ve temizlikle, düşük basınçla, azot ve safsızlık içermeden, 24 saat kesintisiz olarak tozsuz atölyedeki MBE ekipmanına taşınır; bu tür bir taşıma kontrol sistemi nitelikli bir üründür.
MBE ekipmanıyla uyumlu
HL Cryogenic Equipment (HL CRYO), 2005 yılından bu yana bu sistemi optimize edip geliştiriyor ve uluslararası MBE ekipman üreticileriyle iş birliği yapıyor. DCA ve REBER dahil olmak üzere MBE ekipman üreticileri şirketimizle iş birliği içindedir. DCA ve REBER dahil olmak üzere MBE ekipman üreticileriyle çok sayıda projede iş birliği yapılmıştır.
Riber SA, bileşik yarı iletken araştırmaları ve endüstriyel uygulamalar için moleküler ışın epitaksisi (MBE) ürünleri ve ilgili hizmetlerin önde gelen küresel sağlayıcısıdır. Riber MBE cihazı, çok yüksek kontrollerle, alt tabaka üzerine çok ince malzeme katmanları biriktirebilir. HL Cryogenic Equipment (HL CRYO)'nun vakum ekipmanı, Riber SA ekipmanlarıyla donatılmıştır. En büyük ekipman Riber 6000, en küçük ekipman ise Compact 21'dir. Ekipmanlar iyi durumdadır ve müşteriler tarafından takdir edilmiştir.
DCA, dünyanın önde gelen oksit MBE firmasıdır. 1993 yılından beri, oksidasyon teknikleri, antioksidan substrat ısıtma ve antioksidan kaynakları konusunda sistematik geliştirmeler yapılmıştır. Bu nedenle, birçok önde gelen laboratuvar DCA oksit teknolojisini tercih etmiştir. Kompozit yarı iletken MBE sistemleri dünya çapında kullanılmaktadır. HL Cryogenic Equipment'ın (HL CRYO) VJ sıvı azot sirkülasyon sistemi ve DCA'nın P600, R450, SGC800 gibi çeşitli modellerindeki MBE ekipmanları birçok projede uyumlu bir şekilde kullanılmıştır.
Performans Tablosu
| Şanghay Teknik Fizik Enstitüsü, Çin Bilimler Akademisi |
| Çin Elektronik Teknolojisi Şirketi 11. Enstitüsü |
| Çin Bilimler Akademisi Yarı İletkenler Enstitüsü |
| Huawei |
| Alibaba DAMO Akademisi |
| Powertech Teknoloji A.Ş. |
| Delta Elektronik A.Ş. |
| Suzhou Everbright Fotonik |
Yayın tarihi: 26 Mayıs 2021
