Teknoloji
Moleküler ışın epitaksisi veya MBE, kristal alt tabakalar üzerinde yüksek kaliteli ince kristal filmleri büyütmek için yeni bir tekniktir. Ultra yüksek vakum koşullarında, gerekli tüm bileşenlerle donatılmış bir ısıtma sobası ile buhar üretilir ve atomik veya moleküler ışın demeti kolime edildikten sonra oluşturulan deliklerden, tek kristal alt tabakanın uygun sıcaklığına doğrudan enjeksiyon yapılır. Aynı anda moleküler ışın alt tabakaya kontrol edilerek taranır ve kristal hizalama katmanlarındaki moleküllerin veya atomların alt tabaka üzerinde ince bir film oluşturması sağlanır.
MBE ekipmanının normal çalışması için, yüksek saflıkta, düşük basınçlı ve ultra temiz sıvı azotun ekipmanın soğutma odasına sürekli ve istikrarlı bir şekilde taşınması gerekir. Genellikle, sıvı azot sağlayan bir tankın çıkış basıncı 0,3 MPa ile 0,8 MPa arasındadır. -196℃'deki sıvı azot, boru hattı taşımacılığı sırasında kolayca buharlaşarak azota dönüşür. Yaklaşık 1:700 gaz-sıvı oranına sahip sıvı azot boru hattında gazlaştırıldığında, büyük miktarda sıvı azot akış alanı kaplayacak ve sıvı azot boru hattının sonundaki normal akışı azaltacaktır. Ayrıca, sıvı azot depolama tankında temizlenmemiş kalıntılar bulunması muhtemeldir. Sıvı azot boru hattında, ıslak havanın varlığı da buz cürufu oluşumuna yol açacaktır. Bu kirlilikler ekipmana boşaltılırsa, ekipmanda öngörülemeyen hasara neden olacaktır.
Bu nedenle, dış depolama tankındaki sıvı azot, yüksek verimlilik, stabilite ve temizlik ile tozsuz atölyede MBE ekipmanına taşınır ve düşük basınç, azotsuz, kirliliksiz, 24 saat kesintisiz, bu tür taşıma kontrol sistemi nitelikli bir üründür.
MBE ekipmanlarının eşleştirilmesi
HL Kriyojenik Ekipman (HL CRYO), 2005 yılından bu yana bu sistemi optimize edip iyileştirmekte ve uluslararası MBE ekipman üreticileriyle iş birliği yapmaktadır. DCA ve REBER dahil olmak üzere MBE ekipman üreticileri, şirketimizle iş birliği ilişkileri içindedir. DCA ve REBER dahil olmak üzere MBE ekipman üreticileri, çok sayıda projede iş birliği yapmıştır.
Riber SA, bileşik yarı iletken araştırmaları ve endüstriyel uygulamalar için moleküler ışın epitaksisi (MBE) ürünleri ve ilgili hizmetleri konusunda lider bir küresel tedarikçidir. Riber MBE cihazı, alt tabaka üzerine çok ince malzeme katmanları yerleştirebilir ve çok yüksek kontrollere sahiptir. HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) şirketinin vakum ekipmanları Riber SA ile donatılmıştır. En büyük ekipman Riber 6000, en küçük ekipman ise Compact 21'dir. İyi durumdadır ve müşteriler tarafından beğenilmiştir.
DCA, dünyanın önde gelen oksit MBE'sidir. 1993 yılından bu yana oksidasyon teknikleri, antioksidan substrat ısıtma ve antioksidan kaynaklarında sistematik geliştirme çalışmaları yürütülmektedir. Bu nedenle birçok önde gelen laboratuvar DCA oksit teknolojisini tercih etmiştir. Kompozit yarı iletken MBE sistemleri dünya çapında kullanılmaktadır. HL Kriyojenik Ekipman'ın (HL CRYO) VJ sıvı azot sirkülasyon sistemi ve DCA'nın çeşitli modellerindeki MBE ekipmanları, P600, R450, SGC800 gibi birçok projede aynı deneyime sahiptir.
Performans Tablosu
| Şanghay Teknik Fizik Enstitüsü, Çin Bilimler Akademisi |
| 11. Çin Elektronik Teknolojisi Enstitüsü Şirketi |
| Çin Bilimler Akademisi Yarıiletkenler Enstitüsü |
| Huawei |
| Alibaba DAMO Akademisi |
| Powertech Teknoloji A.Ş. |
| Delta Elektronik A.Ş. |
| Suzhou Everbright Fotonik |
Gönderim zamanı: 26 Mayıs 2021
