Teknoloji
Moleküler ışın epitaksisi veya MBE, kristal alt tabakalar üzerinde yüksek kaliteli ince kristal filmleri büyütmek için yeni bir tekniktir. Ultra yüksek vakum koşullarında, ısıtma sobası her türlü gerekli bileşenle donatılmış ve buhar üretiyor, kolime edilmiş ışın atomik veya moleküler ışından sonra oluşan deliklerden, tek kristal alt tabakanın uygun sıcaklığına doğrudan enjeksiyon, aynı anda alt tabakaya moleküler ışının taranması, kristal hizalama katmanlarındaki moleküllerin veya atomların bir alt tabaka üzerinde ince bir film oluşturmasını sağlayabilir "büyüme".
MBE ekipmanının normal çalışması için, yüksek saflıkta, düşük basınçlı ve ultra temiz sıvı nitrojenin ekipmanın soğutma odasına sürekli ve kararlı bir şekilde taşınması gerekir. Genel olarak, sıvı nitrojen sağlayan bir tankın çıkış basıncı 0,3 MPa ile 0,8 MPa arasındadır. -196℃'deki sıvı nitrojen, boru hattı taşımacılığı sırasında kolayca nitrojene buharlaşır. Yaklaşık 1:700 gaz-sıvı oranına sahip sıvı nitrojen boru hattında gazlaştırıldığında, büyük miktarda sıvı nitrojen akış alanı kaplayacak ve sıvı nitrojen boru hattının sonunda normal akışı azaltacaktır. Ek olarak, sıvı nitrojen depolama tankında temizlenmemiş döküntülerin olması muhtemeldir. Sıvı nitrojen boru hattında, ıslak havanın varlığı da buz cürufu oluşumuna yol açacaktır. Bu kirlilikler ekipmana boşaltılırsa, ekipmanda öngörülemeyen hasara neden olacaktır.
Bu nedenle, dış depolama tankındaki sıvı azot, tozsuz atölyede yüksek verimlilik, stabilite ve temizlikle MBE ekipmanına taşınır ve düşük basınç, azotsuz, kirliliksiz, 24 saat kesintisiz, bu tür taşıma kontrol sistemi nitelikli bir üründür.



MBE ekipmanlarının eşleştirilmesi
2005'ten beri HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) bu sistemi optimize ediyor ve iyileştiriyor ve uluslararası MBE ekipman üreticileriyle işbirliği yapıyor. DCA, REBER dahil olmak üzere MBE ekipman üreticileri şirketimizle işbirliği ilişkilerine sahiptir. DCA ve REBER dahil olmak üzere MBE ekipman üreticileri çok sayıda projede işbirliği yapmıştır.
Riber SA, bileşik yarı iletken araştırmaları ve endüstriyel uygulamalar için moleküler ışın epitaksi (MBE) ürünleri ve ilgili hizmetlerin önde gelen küresel sağlayıcısıdır. Riber MBE cihazı, çok yüksek kontrollerle alt tabaka üzerine çok ince malzeme katmanları yerleştirebilir. HL Cryogenic Equipment'ın (HL CRYO) vakum ekipmanı Riber SA ile donatılmıştır. En büyük ekipman Riber 6000 ve en küçüğü Compact 21'dir. İyi durumdadır ve müşteriler tarafından takdir edilmiştir.
DCA, dünyanın önde gelen oksit MBE'sidir. 1993'ten beri oksidasyon teknikleri, antioksidan substrat ısıtma ve antioksidan kaynakların sistematik gelişimi yürütülmektedir. Bu nedenle birçok önde gelen laboratuvar DCA oksit teknolojisini seçmiştir. Kompozit yarı iletken MBE sistemleri dünya çapında kullanılmaktadır. HL Cryogenic Equipment'ın (HL CRYO) VJ sıvı nitrojen dolaşım sistemi ve DCA'nın birden fazla modelinin MBE ekipmanı, P600, R450, SGC800 vb. gibi birçok projede eşleşen deneyime sahiptir.

Performans Tablosu
Şanghay Teknik Fizik Enstitüsü, Çin Bilimler Akademisi |
11. Çin Elektronik Teknolojisi Enstitüsü Şirketi |
Yarıiletkenler Enstitüsü, Çin Bilimler Akademisi |
Huawei |
Alibaba DAMO Akademisi |
Powertech Teknoloji A.Ş. |
Delta Elektronik A.Ş. |
Suzhou Everbright Fotonik |
Yayınlanma zamanı: 26-Mayıs-2021