Haberler - Chip MBE Projesi Geçtiğimiz Yıllarda Tamamlandı

Teknoloji

Moleküler ışın epitaksi veya MBE, kristal substratlar üzerinde yüksek kaliteli ince kristal filmlerinin büyütülmesi için yeni bir tekniktir. Ultra yüksek vakum koşullarında, ısıtma sobası her türlü gerekli bileşenle donatılmıştır ve ışın atomik veya moleküler ışının kolimasyonundan sonra oluşturulan delikler aracılığıyla buhar üretir, tek kristal substratın uygun sıcaklığına doğrudan enjeksiyon yapar, moleküler ışının kontrol edilmesini sağlar. Substrat taraması aynı anda, kristal hizalama katmanlarındaki moleküllerin veya atomların, substrat "büyümesi" üzerinde ince bir film oluşturmasını sağlayabilir.

MBE ekipmanının normal çalışması için, yüksek saflıkta, düşük basınçlı ve ultra temiz sıvı nitrojenin, ekipmanın soğutma odasına sürekli ve stabil bir şekilde taşınması gerekir. Genel olarak, sıvı nitrojen sağlayan bir tankın çıkış basıncı 0,3MPa ile 0,8MPa arasındadır. -196°C sıcaklıktaki sıvı nitrojen, boru hattı nakliyesi sırasında kolaylıkla buharlaştırılarak nitrojene dönüşür. Gaz-sıvı oranı yaklaşık 1:700 olan sıvı nitrojen boru hattında gazlaştırıldığında, büyük miktarda sıvı nitrojen akış alanı kaplayacak ve sıvı nitrojen boru hattının ucundaki normal akışı azaltacaktır. Ayrıca sıvı nitrojen depolama tankında temizlenmemiş kalıntıların da bulunması muhtemeldir. Sıvı nitrojen boru hattında ıslak havanın varlığı da buz cürufu oluşumuna yol açacaktır. Bu yabancı maddeler ekipmanın içine boşaltılırsa, ekipmanda öngörülemeyen hasarlara neden olur.

Bu nedenle dış mekan depolama tankındaki sıvı nitrojen tozsuz atölyedeki MBE ekipmanına yüksek verimlilik, stabilite ve temiz bir şekilde nakledilir ve düşük basınç, nitrojen yok, yabancı madde yok, 24 saat kesintisiz, böyle bir taşıma kontrol sistemi nitelikli bir ürün.

Eşleşen MBE ekipmanı

HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) 2005 yılından bu yana bu sistemi optimize ediyor, geliştiriyor ve uluslararası MBE ekipman üreticileriyle işbirliği yapıyor. DCA, REBER dahil olmak üzere MBE ekipman üreticilerinin şirketimizle işbirliği ilişkileri bulunmaktadır. DCA ve REBER'in de aralarında bulunduğu MBE ekipman üreticileri çok sayıda projede işbirliği yaptı.

Riber SA, bileşik yarı iletken araştırmaları ve endüstriyel uygulamalara yönelik moleküler ışın epitaksi (MBE) ürünleri ve ilgili hizmetlerin önde gelen küresel sağlayıcısıdır. Riber MBE cihazı, çok yüksek kontrollerle alt tabaka üzerinde çok ince malzeme katmanları biriktirebilir. HL Cryogenic Equipment'ın (HL CRYO) vakum ekipmanı Riber SA ile donatılmıştır. En büyük ekipman Riber 6000, en küçük ekipman ise Compact 21'dir. İyi durumdadır ve müşteriler tarafından tanınmıştır.

DCA dünyanın önde gelen oksit MBE'sidir. 1993 yılından bu yana oksidasyon teknikleri, antioksidan substrat ısıtma ve antioksidan kaynakları konularında sistematik geliştirme çalışmaları yürütülmektedir. Bu nedenle birçok önde gelen laboratuvar DCA oksit teknolojisini seçmiştir. Kompozit yarı iletken MBE sistemleri dünya çapında kullanılmaktadır. HL Kriyojenik Ekipmanın (HL CRYO) VJ sıvı nitrojen dolaşım sistemi ve birden fazla DCA modelinin MBE ekipmanı, P600, R450, SGC800 vb. modeller gibi birçok projede eşleştirme deneyimine sahiptir.